AZX400 Spectromètre de Fluorescence X à dispersion de longueur d'ondes

Rigaku

AZX400 Spectromètre de fluorescence X à dispersion de longeurs d'ondes

La technique de fluorescence X à dispersion en longueur d'onde (WD) permet l'analyse élémentaire (composition et l'épaisseur de film) avec une résolution de haute énergie. Le Rigaku AZX 400 est un spectromètre WDXRF séquentielle spécifiquement conçu pour gérer de très grands et / ou lourds échantillons. Il accepte échantillons jusqu'à 400 mm de diamètre, 50 mm d'épaisseur et la masse 30 kg, la AZX 400 est idéal pour l'analyse des cibles de pulvérisation, disques magnétiques, ou pour la métrologie de film multicouche sur des tranches de silicium. Le AZX 400 est un système de R & D idéal offrant la plus large gamme de flexibilité analytique couvrant l'ensemble des éléments de Be U avec une tache de tailles jusqu'à 0,5 mm de diamètre pour résolue spatialement (homogénéité) des mesures. Le système de caméra vidéo et d'éclairage en option permet le point de mesure spécifique pour être considéré pour QC ou FA applications. Le chargeur automatique de la tranche optionnelle permet une manipulation de plusieurs tranches d'un FOUP 300mm ou 200mm cassette ouvert.

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