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SU 9000 MEB à effet de champ: MEB Ultra-haute résolution à cathode froide

Hitachi High-Technologies

Le MEB "in-lens" Hitachi SU9000 est dédié à l'ultra haute résolution (UHR SEM). Sans équivalent sur le plan des performances, il répond aux exigences des laboratoires "high tech" : les équipes "Failure Analysis" dans l'industrie des semi-conducteurs, ou celles qui travaillent sur la caractérisation des nano-matériaux, utilisent les MEB UHR Hitachi "in-lens".

MEB à effet de champ SU 9000: MEB Ultra-haute résolution à cathode froide

- Résolution garantie sur site : 0,4 nm à 30 kV (SE) et 1,2nm à 1 kV (SE) et 0,34nm à 30kV (STEM)
- Emission froide
- Tension d'accélération : de 0,5 kV à 30 kV
- Gamme de grandissements : x80 à x8.000.000
- Echantillons jusqu'à 9mm de côté
- Détecteurs SE, BSE "in-lens"
- Détecteur STEM (Bright Field, Dark Field) à angle solide variable

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