Regulus 8100 MEB à effet de champ : MEB haute résolution à cathode froide

Hitachi High-Technologies

Le MEB à émission de champ "semi in-lens" Hitachi Regulus 8100 est optimisé pour la haute résolution à haute et basse tensions d'accélération. Le Regulus 8100 succède au MEB SU8010 en offrant des fonctionnalités enrichies avec une résolution et des performances améliorées.

MEB à effet de champ Regulus 8100 : MEB haute résolution à cathode froide

Le MEB à effet de champ Regulus 8100 à cathode froide est polyvalent et idéal pour l’observation et l’analyse d’échantillons fragiles sous le faisceau ou non, tels que les polymères, les composites, les nano particules, ou bien les semiconducteurs.

  • Résolution garantie sur site : 0,8 nm à 15kV et 1,1 nm à 1 kV
  • Emission froide de nouvelle génération
  • Tension d'accélération : de 0,5 kV à 30 kV
  • Gamme de grandissements : x20 à x1 000 000
  • Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre
  • Détecteurs SE (chambre), BSE "in-lens"
  • Détecteur STEM (Bright Field, Dark Field)

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