MEB haute résolution à pression variable SU-3500 Hitachi

Microscope Electronique à Balayage à pression variable

MEB haute résolution à pression variable SU-3500 Hitachi

De nouvelles technologies sont intégrées pour faciliter et optimiser l'observation et l'analyse d'échantillons variés, en particuliers les non conducteurs, fragiles thermiquement.

En mode « vide poussé », une résolution de 7nm à 3kV est garantie sur site avec le détecteur d'électrons secondaires (SE) et de de 10nm à 5kV avec le détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) haute sensibilité. En mode « vide partiel », le nouveau détecteur UVD (Ultra Variable Pressure Detector) est utilisable à très basses énergies (moins de 1keV) et jusqu'à 650 Pa éliminant ainsi les préparations contraignantes de spécimens fragiles. Une chambre volumineuse équipée de nombreux accès, associée à une platine grands débattements motorisée sur tous les axes, eucentrique en inclinaison et en rotation garantit une flexibilité optimisée pour caractériser tous types d'échantillons.

- Résolutions garanties sur site : 3,0 nm à 30kV et 7,0nm à 3kV (SED) ; 4,0nm à 30kV et 10,0nm à 5kV (BSE)
- Tensions d'accélération : 0,3kV à 30kV
- Grandissements : x5 à x800.000
- Platine eucentrique motorisée sur tous les axes
- Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre
- Système de pompage sec

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Documents

SU3500 Brochure_2015-low res.pdf
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