IBSS Nettoyeur plasma « in-situ » et « ex-situ »

Equipements de préparation d'échantillons pour MEB

IBSS Nettoyeur plasma « in-situ » et « ex-situ »

Notre fournisseur IBSS Group offre différentes solutions innovantes de décontamination par plasma faible énergie, pour la microscopie électronique (MEB, MET, FIB et CDSEM)

La décontamination par plasma est l’une des méthodes les plus efficaces pour réduire et éliminer la contamination des échantillons, permettant ainsi d’améliorer très significativement l’imagerie à basse énergie.

Les systèmes de décontamination IBSS possèdent plusieurs configurations possibles. Ils peuvent être utilisé en nettoyage in situ dans les chambres des microscopes électronique et/ou ex-situ pour nettoyer la surface des échantillons sans endommager leurs topographies et fournissant un environnement de stockage.

  • GV10x :
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La capacité du GV10x à éliminer la contamination est une prodigieuse avancée au-delà des méthodes traditionnelles d’atténuation de la contamination par capture à froid, purge à l’azote et autres plasma cleaners. Le GV10x, avec sa gamme de puissance et pression étendue (5 à 100 Watts et 2 à <0.005 Torr), représente un changement radical dans la décontamination des résidus hydrocarbonés présents sur les échantillons à observer au MEB, au FIB, et autres systèmes à vide. L’oxygène atomique et l’hydrogène éliminent la contamination en transformant le carbone de surface en molécules gazeuses qui sont ensuite pompées hors de la chambre.

Deux types de contrôleurs pour alimenter et faire fonctionner le GV10x : le contrôleur BT et 2U dont le choix revient à une préférence de l’utilisateur.

  • MCA :
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Le MCA est un système portable permettant le nettoyage ex-situ des échantillons et le nettoyage in-situ de la chambre à faisceau d’électrons. Intégré avec un chariot en inox, le MCA devient pratique et peut être facilement déplacé.

Le MCA offre une décontamination efficace et fiable des radicaux atomiques sans pulvérisation et chauffage. Il est contrôlé par le dernier logiciel IBSS installé sur une tablette Windows ou sur PC.
Pour le nettoyage et le stockage ex-situ, le MCA comprend une chambre cubique suffisamment flexible pour accueillir jusqu’à trois porte-échantillons MET simultanément.

Le MCA est équipé d’un montage Qwk-Switch pour faciliter le transfert de la source du MCA vers les chambres à faisceau d’électrons.

  • CHIARO :
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Le Chiaro est une variante améliorée du MCA pour répondre aux exigences et aux méthodes innovantes d’observation au MET notamment pour les porte-échantillons utilisant des échantillons gazeux et liquides. Il permet entre autres le contrôle des fuites, des puces E-Chip, l’hydrophilisation de la surface des échantillons en plus du nettoyage par plasma. Le chargement des porte-échantillons MET, facilité par sa porte pivotante, peut être contrôlé en observant à travers la loupe binoculaire offrant jusqu’à x5 de grandissement. Le tout pouvant être enregistré via une caméra intégrée.

Documents

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