MEB à effet de champ Regulus 8220, Regulus 8230, Regulus 8240 : MEB ultra-haute résolution

Microscope Electronique à Balayage à effet de champ

MEB à effet de champ Regulus 8220, Regulus 8230, Regulus 8240 : MEB ultra-haute résolution

La série des Microscope Electronique à Balayage à émission de champ « semi in-lens » Regulus 82** étend les fonctions de la série des SU8200 avec une meilleure résolution et des performances optimisées pour l'ultra-haute résolution à très basses énergies.

La série des MEB à émission de champ Regulus82**, tout comme le Regulus 8100, a été conçue pour un large éventail de domaines d’applications comme par exemple les nanotechnologies, les semiconducteurs, la biologie et la science des matériaux.

Le « TOP » détecteur, intégré précédemment dans la série SU8200, permet de collecter des informations topographiques, de contraste atomique et de contraste de conductivité d'extrême surface (de l'ordre du nanomètre).

  • Résolution garantie sur site : 0,7nm à 15kV ; 0,9nm à 1kV
  • Emission froide de nouvelle génération
  • Tension d’accélération : 0,05kV à 30kV
  • Tension de décélération capable d’atteindre 20kV
  • Grandissement : x20 à x2 000 000
  • Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre
  • Détecteurs SE (chambre), SE (in-lens), BSE (in-lens), TOP (in-lens)
  • Détecteur STEM (Bright Field, Dark Field)

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Documents

Brochure Meb à effet de champs Ultra Haute Résolution Regulus_0
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