MEB A EFFET DE CHAMP ULTRA HAUTE RESOLUTION A CATHODE FROIDE SU8600

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Microscope Electronique à Balayage à effet de champ

MEB A EFFET DE CHAMP ULTRA HAUTE RESOLUTION A CATHODE FROIDE SU8600

Le MEB FEG UHR à cathode froide Hitachi SU8600 affiche une résolution très inférieure à 1 nm dans toute la gamme de tensions d'accélération disponible.
De nouveaux détecteurs et une interface logicielle modernisée permettent d'obtenir facilement des images de vos échantillons variées, jusqu'aux grandissements ultimes.

Le MEB FEG Hitachi SU8600 couvre un large spectre d’applications (nano matériaux, semiconducteurs, polymères, biologie) nécessitant les résolutions ultimes.

Les détecteurs "in-lens" Upper, Top, IMD assurent un réglage très précis des électrons secondaires et rétrodiffusés selon leur énergie et leur direction. Les détails d'extrême surface les plus fins sont ainsi révélés sans qu'il soit nécessaire de métalliser les échantillons. 

  • Résolution garantie sur site : 0,6nm à 15kV ; 0,7nm à 1kV
  • Emission froide de nouvelle génération avec régulation automatique du courant
  • Tension d’accélération : 0,5kV à 30kV
  • Système de décélération paramétrable (énergie d'atterrissage à partir de 10eV)
  • Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre
  • Sas d'introduction des échantillons 
  • Caméra de Navigation intégrée
  • Détecteurs SE, BSE, dans la chambre, SE et BSE In-Lens, Cathodo
  • Détecteur STEM (Bright Field, Dark Field)
  • Plusieurs ports disponibles pour EDS, EBSD, Platine cryogénique, etc..

 

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Documents

SU8600-Brochure-202203
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