NX-WAFER

Industrial Atomic Force Microscope AFM

NX-WAFER

LE système à faible bruit et fort throughput disposant de la fonctionnalité « Defect Review »

L’AFM Park Systems NX-Wafer est le seul AFM de ligne dédié au contrôle de wafer et disposant de la fonctionnalité de revue automatique de défauts. Cela lui donne la capacité d'augmenter le rendement de votre laboratoire jusqu'à 1000%, tout en assurant un haut niveau de précision et de contrôle de qualité lors de l’analyse de wafers jusqu'à 300mm.

 

-Solution AFM entièrement automatisée pour l'imagerie et l'analyse de défauts.

-Capacité de mesurer des wafers 300mm.

-Permet d’améliorer la productivité de revue de défauts jusqu'à 1000%.

-Faible niveau de bruit permettant des profils de mesure CMP plus précis.

-Mesures de rugosité de surface inférieures à l’angström.

-Variations minimales pointe à pointe.

 

 

SCANNER

XY : 100µm x 100µm

Z : 15µm

Bruit : [lt] 0.05nm

 

ELECTRONIQUE

DSP : 600MHz ; 4800MIPS

ADC : 20 canaux 16bits

DAC : 21 canaux 16bits

 

STAGE

XY : 275x200mm (système 200mm) ; 400x300mm (système 300mm)

Z : 27mm

Focalisation : 9mm

Taille échantillon : wafers 200 / 300mm

 

/tl_files/elexience/productPhysique/Microscopie a force atomique/Park systems NX wafer.jpg

 

Cliquez ici pour avoir plus d'informations sur le produit.

Cliquez ici pour visiter le site en Français.

 

Documents

BROCHURE PARK SYSTEMS NX-WAFER
Conditions de traitement des données personnelles

Les informations recueillies sur ce formulaire sont enregistrées dans un fichier informatisé par MILEXIA FRANCE pour la gestion de notre clientèle.

Elles sont conservées pendant la durée de leur traitement, c'est-à-dire environ 1 mois en cas d'échange de courriers électroniques ou quelques jours pour une simple prise en compte et sont destinées au Service Marketing et au Service Commercial.

Conformément à la loi « informatique et libertés », vous pouvez exercer votre droit d'accès aux données vous concernant et les faire rectifier en contactant : Margaux Welch, marketing@milexia.fr, 01 69 53 80 35.

Nous vous informons de l’existence de la liste d'opposition au démarchage téléphonique « Bloctel », sur laquelle vous pouvez vous inscrire ici : https://conso.bloctel.fr/

Brochure Park Systems
Conditions de traitement des données personnelles

Les informations recueillies sur ce formulaire sont enregistrées dans un fichier informatisé par MILEXIA FRANCE pour la gestion de notre clientèle.

Elles sont conservées pendant la durée de leur traitement, c'est-à-dire environ 1 mois en cas d'échange de courriers électroniques ou quelques jours pour une simple prise en compte et sont destinées au Service Marketing et au Service Commercial.

Conformément à la loi « informatique et libertés », vous pouvez exercer votre droit d'accès aux données vous concernant et les faire rectifier en contactant : Margaux Welch, marketing@milexia.fr, 01 69 53 80 35.

Nous vous informons de l’existence de la liste d'opposition au démarchage téléphonique « Bloctel », sur laquelle vous pouvez vous inscrire ici : https://conso.bloctel.fr/

Pour plus d'informations